主要装置の小型化、スペースの有効配置により省スペース化を実現しました。また、搬送部高さを1,500mmとすることで、搬入出ストロークの短縮と視認性を向上させました。

● 高応答といし台送り機構
● 高応答サーボシステム
小型軽量といし台、静圧スライド案内、リニアモータ駆動の高応答といし台送り機構は、ロストモーション、バックラッシレスのといし台送りを実現します。静圧スライドにはSTAT CONTROLを搭載し、外力に対するといし台の姿勢維持性を向上しています。新開発の高応答サーボシステムと高応答といし台送りは、カム加工面の精度と品位を向上します。